激光干涉儀的使用技巧,你了解嗎?
點(diǎn)擊次數(shù):1559 更新時(shí)間:2020-06-10
激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些該干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。今天,本文就來(lái)為你簡(jiǎn)單講解一下關(guān)于它的一些使用技巧。
1、輔助工具的選擇
雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實(shí)際使用過(guò)程中還是需要另外配置一些輔助工具:
?、傺兄频透叨仍婆_(tái)支架
部分機(jī)床工作臺(tái)高度與地面是基本相平的,那么測(cè)量Z軸時(shí),如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺(tái)安放激光器于地面,則肯定會(huì)因?yàn)槿羌鼙旧淼母叨?,損失測(cè)量范圍。
?、谶x擇磁性表座
磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時(shí)需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(gè)(實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測(cè)量時(shí),往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。
2、Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法
用激光干涉儀進(jìn)行線性測(cè)量時(shí),Z軸測(cè)量時(shí)激光光路的準(zhǔn)直相對(duì)X、Y軸準(zhǔn)直來(lái)說(shuō),要困難的多。尤其是在Z軸距離較長(zhǎng)的情況下,要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測(cè)器的強(qiáng)度滿足測(cè)量對(duì)對(duì)光強(qiáng)的要求,準(zhǔn)直激光光路往往需要很長(zhǎng)時(shí)間。
Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對(duì)Z軸放置分光鏡,左右移開(kāi)Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。